睿勵科學(xué)儀器完成數(shù)億元B輪融資，資金主要用于豐富產(chǎn)品種類，加大市場開拓力度能力等

睿勵科學(xué)儀器(上海)有限公司（以下簡稱「睿勵科學(xué)儀器」）近日完成數(shù)億元B輪融資，本輪融資由金石投資、招商致遠領(lǐng)投，清控金信、河南資產(chǎn)、鼎青投資等資方跟投。

所融資金主要用于進一步提升先進半導(dǎo)體制程用的光學(xué)量檢測設(shè)備的國產(chǎn)替代能力，豐富產(chǎn)品種類，加大市場開拓力度能力。

睿勵科學(xué)儀器成立于2005年，總部位于上海張江。公司致力于開發(fā)、生產(chǎn)和銷售具有自主知識產(chǎn)權(quán)及核心技術(shù)的集成電路芯片制造工藝用的光學(xué)量檢測設(shè)備。公司總部位于上海浦東新區(qū)，其團隊成員多來自全球前兩位量檢測設(shè)備企業(yè)和國內(nèi)知名光學(xué)技術(shù)公司，有18年產(chǎn)品開發(fā)和市場應(yīng)用經(jīng)驗。

睿勵科學(xué)儀器總經(jīng)理楊峰表示：“非常感謝投資方的認可與支持。我們將繼續(xù)深耕集成電路芯片生產(chǎn)工藝檢測設(shè)備市場，進一步豐富光學(xué)量測和光學(xué)缺陷檢測產(chǎn)品系列，為實現(xiàn)集成電路前道工藝檢測設(shè)備國產(chǎn)化全面替代的目標而努力。”他指出，未來，睿勵科學(xué)儀器將持續(xù)聚焦在光學(xué)量檢測領(lǐng)域，完善膜厚量測、OCD量測、缺陷檢測，開發(fā)包括OVL的其他光學(xué)量檢測設(shè)備。

金石投資表示，半導(dǎo)體設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基石，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展有賴于半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)和產(chǎn)品突破，量檢測是其中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。睿勵科學(xué)作為中國最早的一批量檢測設(shè)備公司，吸引了來自于國內(nèi)外的頂尖人才，堅持技術(shù)創(chuàng)新，聚焦光學(xué)技術(shù)，我們相信睿勵科學(xué)將繼續(xù)保持技術(shù)和產(chǎn)品領(lǐng)先，幫助先進制程實現(xiàn)國產(chǎn)替代的突破和發(fā)展。

招商致遠表示，半導(dǎo)體量檢測設(shè)備面臨巨大的市場空間和國產(chǎn)替代機遇，也具有很高的壁壘。招商致遠看好半導(dǎo)體量檢測賽道，期待睿勵科學(xué)憑借優(yōu)秀的團隊和多年的技術(shù)積累和量產(chǎn)經(jīng)驗，成為該細分賽道的領(lǐng)導(dǎo)者。